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全自動清洗設備（硅基）

不同的獨立濕處理工藝槽（SPM、APM、HPM、DHF、IPA Dry），按照客戶工藝菜單的設置，機械手在各工藝槽中進行相應的工藝處理。適用于單、雙盒硅片的濕法清洗。設備集成基于SNA專利技術，用于硅片取干的IPA Dry模塊